標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [4型]
CRYO-U4H
特點(diǎn)
- 輕量、緊湊，在標(biāo)準(zhǔn)品種尺寸小。
- 適用於實(shí)驗(yàn)室研究室的小型真空設(shè)備中。
- 特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。
- 可以多臺(tái)運(yùn)行（大3臺(tái)）。
- 可以達(dá)到超高真空（10-8Pa以下）。
- 日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修?
外形尺寸 (單位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修?
| 排気速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 750 |
| 氫氣 | 1,100 | ||
| 氬氣 | 620 | ||
| 水 | 2,100 | ||
| 到達(dá)圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.1×103(7.9) |
| 氫氣 | 1.1×102(0.8) | ||
| 排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 5.6×107(4.2×105) |
| 氫氣 | 3.1×105(2.3×103) | ||
| 冷卻下降時(shí)間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 80/70(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-150,UFC-203 | ||
| 壓縮機(jī) | C10, C10AT, C10ES | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 19 | |
*維護(hù)間隔：16,000小時(shí)
蘇州昆山太倉(cāng)無(wú)錫上海張家港吳江常熟日本愛(ài)發(fā)科真空泵維修、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修保養(yǎng)
鎮(zhèn)江常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門(mén)如皋日本愛(ài)發(fā)科真空泵維修、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修保養(yǎng)
海門(mén)海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州日本愛(ài)發(fā)科真空泵維修、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修保養(yǎng)
溫州臺(tái)州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門(mén)日本愛(ài)發(fā)科真空泵維修、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修保養(yǎng)
泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧日本愛(ài)發(fā)科真空泵維修、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修保養(yǎng)
南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州日本愛(ài)發(fā)科真空泵維修、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修保養(yǎng)
烏魯木齊石家莊天津長(zhǎng)春吉林濟(jì)南日本愛(ài)發(fā)科真空泵維修、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修保養(yǎng)
青島威海德州連云港昆明九江安慶日本愛(ài)發(fā)科真空泵維修、標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修保養(yǎng)
昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司
電話：86-0512-36687634
傳真：86-0512-36687634
地址：江蘇省昆山市陸家鎮(zhèn)友誼路290號(hào)
郵編：215000
昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司版權(quán)所有© 2018
